产品描述
基本参数
| 工艺 | 尺寸 | 厚度 | 衬底 |
| 等离子体辅助化学气相沉积 (MPCVD) | 2 寸 / 3 寸 | 0.5-2 微米 | Si |
典型产品表征
说明:
- 生长前后对比图。生长后在 Si 基底形成致密金刚石薄膜。
- 拉曼光谱显示，整个金刚石薄膜晶体质量和均一性良好。
- 金刚石光学显微镜图片。
- 金刚石薄膜表面 SEM 照片。
- 截面 SEM 照片显示测量的金刚石薄膜厚度约 2µm。
试剥离
小片剥离与柔性测试
两寸片整片剥离与拉曼表征
应用领域
柔性电子器件、芯片散热、声学换能器、量子信息等领域。
先端晶体科技
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