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超薄单晶金刚石

所属分类:

超薄单晶金刚石是通过离子注入剥离、外延生长或精细减薄等工艺制备的厚度和掺杂可控的单晶金刚石薄膜, 厚度通常在微米乃至纳米量级。它继承了单晶金刚石的优异性能,兼具超高热导率、高击穿场强、化学惰性、 力学强度以及良好的光学透过性,同时克服了传统金刚石脆性大、难以微纳加工的局限,具有可转移、可键合、 易集成的特点。

产品描述

超薄单晶金刚石是通过离子注入剥离、外延生长或精细减薄等工艺制备的厚度和掺杂可控的单晶金刚石薄膜, 厚度通常在微米乃至纳米量级。它继承了单晶金刚石的优异性能,兼具超高热导率、高击穿场强、化学惰性、 力学强度以及良好的光学透过性,同时克服了传统金刚石脆性大、难以微纳加工的局限,具有可转移、可键合、 易集成的特点。

2*2mm金刚石衬底剥离前后状态

剥离后200nm金刚石薄膜

产品参数

参数 数值
尺寸 <10 mm
厚度 0.1 - 50 μm
N 浓度 <5 ppb — 10 ppm

应用领域

NV 色心量子传感器:超薄金刚石更利于微波/ 光学耦合,提升磁探测、电流成像灵敏度。 高频微型声学谐振器、MEMS 器件,以及透射电镜、力学测试等科研表征基材。

先端晶体科技

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